由于潛在環(huán)境災(zāi)害、人身危險(xiǎn)與財(cái)產(chǎn)損失風(fēng)險(xiǎn)的增加,企業(yè)面對營運(yùn)中斷的風(fēng)險(xiǎn)也跟著提升。為了讓企業(yè)營運(yùn)不會中斷,透過信息整合,加強(qiáng)工廠自動(dòng)化與環(huán)境安全監(jiān)測,如導(dǎo)入廠務(wù)監(jiān)控系統(tǒng)(Facility Monitoring Control System;FMCS),針對各種工業(yè)設(shè)施的運(yùn)行狀態(tài),進(jìn)行集中監(jiān)視及遠(yuǎn)程控制的自動(dòng)化管理,便成為工廠自動(dòng)化的重要趨勢。
如石化產(chǎn)品的制作過程,往往都必須要在高溫、高壓、高噪音、有機(jī)揮發(fā)物濃度高的環(huán)境下進(jìn)行,且每小時(shí)生產(chǎn)的化學(xué)品動(dòng)輒以百噸計(jì),只要稍有控制不慎或無法及時(shí)操控,都可能會造成現(xiàn)場操作人員與原物料的重大損失,對于工廠環(huán)境監(jiān)測的要求,自然居高不下。
如原油的生產(chǎn)從開采出地表至輸送到石油公司,須經(jīng)歷采油井、計(jì)量站、聯(lián)合站、采油廠等設(shè)施,每個(gè)設(shè)施在過去都需要大批人力在現(xiàn)場操控、抄表,加上采油現(xiàn)場的惡劣環(huán)境,勢必會造成工作人員的沉重負(fù)荷。而石化?化工生產(chǎn)廠商需要的原料,包括原油、乙烯、丙烯、丁二烯、天然氣、蒸氣、氫氣等,在經(jīng)由管路運(yùn)輸時(shí),也因?yàn)檫@些原料的特殊性質(zhì),往往需要透過監(jiān)測系統(tǒng)來確認(rèn)與維護(hù)運(yùn)輸經(jīng)過地區(qū)的安全。
而在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)方面,由于目前的制程,已經(jīng)逐步發(fā)展到20甚至16納米,可以容忍的氣體顆粒大小范圍也會跟著變小,尤其是制程進(jìn)入深紫外光(DUV)后,因?yàn)槲m物(Particle)對不良率提升的影響更加明顯,相關(guān)偵測技術(shù)也變得更加重要,如何量測機(jī)臺內(nèi)部的微量揮發(fā)性有機(jī)氣體及酸性氣體,也就成為下一代制程的重要檢測要點(diǎn)。
物聯(lián)網(wǎng)與監(jiān)測設(shè)備的結(jié)合,可以針對工業(yè)生產(chǎn)過程中的各種關(guān)鍵指標(biāo)做到實(shí)時(shí)監(jiān)控,如企業(yè)只要在重度污染物排放口安裝無線傳感設(shè)備,不僅可以對污染排放進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測,還可以從遠(yuǎn)程關(guān)閉排放口,防止突發(fā)性環(huán)境污染事故發(fā)生;也可以透過回饋控制系統(tǒng),調(diào)整生產(chǎn)制程中的相關(guān)控制參數(shù),有效降低污染物的排放量,如臺塑六輕就已與環(huán)保署合作,對其有機(jī)污染物的排放進(jìn)行在線實(shí)時(shí)監(jiān)控。